工业超纯水设备在半导体行业应用
2021-06-07 17:00:10 阅读次数:1724
超纯水在电子半导体行业中的作用:
电子半导体行业超纯水设备通常由多介质过滤器、活性炭过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床/EDI系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐与客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
电子级水质技术分为五个行业等级:
1、高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89。
2、高纯水的电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
3、电阻分别对应为:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
电子半导体行业用超纯水设备的优势:
工业用超纯水设备能够连续稳定的制备品质优良的超纯水,不会因为树脂再生而停止运行,设备结构设计相对靠紧,所以其占地较小,可以为企业节省很多空间,工业用超纯水设备在出厂前均需进行装置调试,所以设备故障几率较小,日常保养、维修等操作都十分简单。
工业用超纯水设备在电子半导体行业中的应用十分重要,为该行业的生产提供无菌、无杂质的高纯度水,确保生产的电子产品品质不会受到水质的影响。